多尺寸、多冷却方式、多工作磁场的平面磁控溅射阴极
平面磁控阴极
以磁耦合密封替代 O 形圈，ITO 镀膜线广泛使用
替代波纹管密封的真空角阀，寿命与密封性同步提升
高利用率圆柱形磁控溅射阴极
大面积均匀镀膜的旋转磁控阴极
