大面积均匀镀膜的旋转磁控阴极
专利技术，国际领先的旋转阴极端头设计，采用磁耦合及可靠的水密封，可保证设备运行12个月，甚至更长时间的免维护。
多尺寸、多冷却方式、多工作磁场的平面磁控溅射阴极
高利用率圆柱形磁控溅射阴极
标准圆形溅射阴极
面向铁磁材料的高效率高利用率溅射阴极
