以磁耦合密封替代 O 形圈，ITO 镀膜线广泛使用
磁耦合真空扩散泵阀，把气缸动密封改为静密封彻底杜绝了泄漏
磁耦合真空扩散泵阀，免维护，永无泄漏之忧
面向铁磁材料的高效率高利用率溅射阴极
大电流电弧蒸发源，用于硬质涂层制备
用于离子辅助、清洗、刻蚀的真空离子源
替代波纹管密封的真空角阀，寿命与密封性同步提升
