以磁耦合密封替代 O 形圈，ITO 镀膜线广泛使用
磁耦合真空扩散泵阀，把气缸动密封改为静密封彻底杜绝了泄漏
磁耦合真空扩散泵阀，免维护，永无泄漏之忧
大面积均匀镀膜的旋转磁控阴极
标准圆形溅射阴极
面向铁磁材料的高效率高利用率溅射阴极
大电流电弧蒸发源，用于硬质涂层制备
