多尺寸、多冷却方式、多工作磁场的平面磁控溅射阴极
平面磁控阴极
面向铁磁材料的高效率高利用率溅射阴极
大电流电弧蒸发源，用于硬质涂层制备
用于离子辅助、清洗、刻蚀的真空离子源
以磁耦合密封替代 O 形圈，ITO 镀膜线广泛使用
