大面积均匀镀膜的旋转磁控阴极
专利技术，国际领先的旋转阴极端头设计，采用磁耦合及可靠的水密封，可保证设备运行12个月，甚至更长时间的免维护。
标准圆形溅射阴极
面向铁磁材料的高效率高利用率溅射阴极
大电流电弧蒸发源，用于硬质涂层制备
用于离子辅助、清洗、刻蚀的真空离子源
