大面积均匀镀膜的旋转磁控阴极
专利技术，国际领先的旋转阴极端头设计，采用磁耦合及可靠的水密封，可保证设备运行12个月，甚至更长时间的免维护。
以磁耦合密封替代 O 形圈，ITO 镀膜线广泛使用
替代波纹管密封的真空角阀，寿命与密封性同步提升
多尺寸、多冷却方式、多工作磁场的平面磁控溅射阴极
高利用率圆柱形磁控溅射阴极
